電子氣體污染控制要求日趨嚴(yán)格

  隨著電子消費品的升級換代，產(chǎn)品制造尺寸越來越大，產(chǎn)品成品率和缺點控制越來越嚴(yán)格，整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻?；旧瞎I(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標(biāo)，直接與分析儀器技術(shù)進步帶來的檢測極限(LDL)相關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可測到0.1微米，而核凝結(jié)技術(shù)(CNC)可達到0.01微米。

  目前12英寸超大規(guī)模集成電路制造線寬已經(jīng)發(fā)展到45納米， 對于大宗氣體的純度都要求在ppt級別, 顆粒度控制直指CNC分析儀器的下限。實驗室超高亮度發(fā)光二極管(LED)技術(shù)指標(biāo)已達到200Lm/w(流明/瓦)以上，對于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于1ppb(十億分之一)，氨氣則采用多級精餾生產(chǎn)，技術(shù)指標(biāo)到達7N(7個9)的“白氨”，5N的氫氣需要采用先進的鈀膜純化器提純至9N。大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)的及時應(yīng)用有利于提高污染控制。

  首先大包裝容器保證了氣體品質(zhì)的連續(xù)性，降低了多次充裝污染風(fēng)險。另外由于換瓶頻率的減少，也減少了污染幾率。BSGS多采用了深層吹掃，提高了吹掃效果。

  輸送管路系統(tǒng)普遍采用了316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器(<0.003μm)、VCR接頭等，接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin，同時采用零死區(qū)設(shè)計。

  施工技術(shù)采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序。氣體輸送系統(tǒng)建成后必須經(jīng)過嚴(yán)格的保壓、氦檢漏、顆粒度和水分、氧分以及其它氣相雜質(zhì)的測試。